一般情況下，我們使用涂層測厚儀，如果發現測量數據有誤差以后，一般進行零點校準即可，這是我們常用的一種校準方式，即使用隨測厚儀提供的校零板對儀器進行校零。

　　但是當您碰到測量頭頂端被磨損、新換的測量頭，或者其他的用途。在測量中，如果誤差明顯地超出給定范圍，則應對測量頭的特性重新進行校準稱為基本校準。通過輸入 6 個校準值(1 個零和 5 個厚度值，測厚儀一般提供有5個不同厚度值的標準膜片)，可重新校準測量頭，具體涂層測厚儀六點校準方法操作方法如下：

　　1.在儀器開啟的狀態下，按順序連續、快速按下以下按鈕，即可進入六點修正校準;

　　2.先校零值。在六點修正校準界面的*個界面，測一下沒有任何涂層的基體，然后按 ZERO 鍵，屏幕中的 ADJ 顯示 0.0?m，按 進入下一點的校準;

　　3.校準儀器自帶校準片，把 50?m 的放到基體上，測一下 50?m 的厚度，測出來的(ADJ)數與校準片的值不符按é ê調整到與校準片的值一樣(如50?m 測出來是 54?m 按ê調整到 50?m)， 然后按 進入下一點校準,接著用相同的校準方法依次校準 100μm、250μm、500μm、1000μm 校準膜片;

　　4.6點數據調整完之后，會出現對話框詢問是否保存，按 確認保存;

　　5.若使用其他膜片標準，須按厚度增加的順序，一個厚度上可做多次。每個厚度應*少是上一個厚度的 1.6 倍以上，理想情況是 2 倍。例如: 50、100、250、500、1000μm。大值應該接近但低于測量頭的*大測量范圍;

　　注意: 每個厚度應少是上一個厚度的 1.6 倍以上，否則視為基本校準失敗，后面一個點必須大于 500μm